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ナノワールドへの扉を開く「見る」 「測る」技術 |
ナノテクノロジーを進展させた大きな要因のひとつに分子・原子レベルで物質を観察できる顕微鏡の進歩があります。当社日立ハイテクノロジーズでは社会がナノテクノロジーに注目するずっと以前から、微細な世界への挑戦を続けてきました。その中心が電子顕微鏡の開発です。当社は、1941年には電子顕微鏡の1号機を完成。以来、世界的に注目の高い製品を次々と世に送り出しています。
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電子顕微鏡の仕組み |
| 光学顕微鏡が光学レンズと光を使って物を拡大するのに対して、電子顕微鏡は、磁力レンズと電子ビームを使用します。この電子顕微鏡には、電子ビームを細く絞って試料に当て、はじき返された二次電子や反射電子を画像化する「走査電子顕微鏡（SEM）」や、薄くスライスした試料に電子線を当て、試料を透過した電子を画像化する「透過電子顕微鏡（TEM）」などがあります。 |
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透過電子顕微鏡により撮像された
歯のエナメル質の結晶格子
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珪藻―ケイソウーの断面
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また当社は、電子顕微鏡とともに微細な世界を分析・評価する手段として、1920年代から光技術の将来にも目を向け、生化学分析装置や質量分析計、ガスクロマトグラフなど数々の光学装置を開発してきました。現在では、これら電子顕微鏡や光学装置の開発で培った技術を用いて、IT、バイオ、素材、環境・エネルギーという幅広い分野に世界の先端を行く製品を提供しています。
電子顕微鏡１号機
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生化学自動分析装置
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例えばIT分野では、半導体の製造ラインで活躍する「測長SEM」という製品があります。これは、走査電子顕微鏡（SEM）の技術を利用した装置で、ICチップ上のパターンを高分解能で検査することができる電子顕微鏡です。3ナノメートルの分解能を持ち（加速電圧800Vの場合）国内・海外でトップシェア（※）を占めており、携帯電話やパソコンをはじめ半導体が組み込まれた製品の大半の製造工程で、この「測長SEM」がお役に立っています。
※世界シェア60〜70パーセント |
| この他、環境・エネルギーという分野で活躍する装置のひとつに「ダイオキシン前駆体モニタ」という製品があります。これは、ダイオキシンが発生する前に現れるクロロフェノールというナノオーダーのごく微量な物質を、高い精度で連続監視することができる装置で、ごみ処理場などで活躍します。 |
ダイオキシン前駆体モニタ
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そして、バイオ分野では、DNA関連の製品や研究開発が注目を集めています。次の章ではこの分野にスポットをあててご紹介します。
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