デバイス製造・評価・解析装置

半導体の微細化の要請が止まるところを知らない中で、大きくクローズアップされているのがナノテクノロジー技術。次世代ディスプレイへの応用なども併せ、まさにナノテクノロジーは“２１世紀の産業のコメ”としての期待が高まる一方です。このような時代のニーズを先取るべく、日立ハイテクノロジーズでは、豊富な実績に裏づけられた定評ある先進技術で、たとえば世界トップクラスの実績を重ねる高分解能FEB測長SEMや、半導体プロセス・歩留り管理システムなど、製造、管理、検査にわたる電子デバイス製造各過程に必要な装置の開発・製造から、最適なシステムとしての提案、アフターサービスまでトータルに対応。ナノテクノロジー分野に強い「グローバル・ビジネス・クリエイター」として、システムや装置がお客様の求める成果を存分に発揮できるようサポートしています。

	半導体製造装置・評価装置
	電子顕微鏡・FIB・周辺装置

主な取扱アイテム

	半導体プロセス装置
	半導体計測・検査装置
	バンプ関連・半導体後工程装置
	透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
	集束イオンビーム（FIB）
	集束イオン・電子ビーム加工観察装置（FIB-SEM）
	走査電子顕微鏡（FE-SEM）
	走査電子顕微鏡（SEM）
	ナノ・プローバ
	Miniscope（卓上顕微鏡）
	EDX/WDX/EBSP/CL/EEL
	電子顕微鏡周辺装置
	TEM/SEM試料前処理装置