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大型ガラス基板露光装置 LEO150S
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主な狙い
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環境データシート
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日立製作所が定める環境適合製品に認定された製品です。
製品情報詳細
主な狙い
注:数値は当社比です。
再生資源化
・
最新の技術を使って再資源化可能部品を多数採用
・
使用材料の見直しにより、金属材料のリサイクル可能率を従来機60.5%から98.5%に大幅向上
省エネルギー性
第7.5世代超大型ガラス基板(1950mm×2250mm)に対応可能な高スループットを実現
環境データシート
「大型ガラス基板露光装置 LEO150S」環境データシート
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