| 製品名 |
特徴 |
日立走査電子顕微鏡
SU−70 |
光学顕微鏡では観察できない微細な物質の構造を観察する装置 |
製品紹介 |
日立高分解能
FEB測長装置
S-9380M |
電子線を用いて、半導体の微細パターンの寸法計測を行う装置(主要対応ウェーハサイズ:300mm) |
製品紹介 |
日立高分解能
FEB測長装置
CG4000 |
電子線を用いて、半導体の微細パターンの寸法計測を行う装置(主要対応ウェーハサイズ:300mm) |
製品紹介 |
日立ディフェクト
レビューSEM
RS−5000 |
最先端プロセスのウルトラLSIの欠陥を高速で自動精査する装置 |
製品紹介 |
日立イオンミリング装置
E-3500 |
イオンスパッタリング現象を用いることで、様々な試料表面の平坦加工を行う装置 |
製品紹介 |
微小デバイス特性評価装置
(ナノ・プローバ)
N-6000 |
走査電子顕微鏡とプローバを組合せ、半導体デバイスの配線・コンタクトに直接接触、1トランジスタの電気特性を直接評価する装置 |
製品紹介 |
走査電子顕微鏡
S-5500 |
光学顕微鏡では観察できない微細な物質の構造を観察する装置、対物レンズの強励磁化で0.4nm(30kV)の分解能を実現 |
製品紹介 |
走査電子顕微鏡
S-3400N |
光学顕微鏡では観察できない微細な物質の構造を観察する装置、新電子光学系・自動化機能により操作性の向上を実現 |
製品紹介 |
卓上顕微鏡
TM-1000 |
光学顕微鏡では観察できない微細な物質の構造を観察する装置、卓上サイズで省エネ設計のコンパクトな顕微鏡 |
製品紹介 |
日立集束イオンビーム
加工観察装置
FB-2100 |
半導体プロセス開発や新素材開発で多用される電子顕微鏡の薄膜試料作成を高速処理する装置 |
製品紹介 |
日立冷水循環装置
W-5020Td |
走査電子顕微鏡、原子吸光光度計などへ流量や温度が高精度に管理された冷却水を供給する装置 |
製品紹介 |
日立走査電子顕微鏡
S-4800 |
光学顕微鏡では観察できない微細な物質の構造を観察する装置 |
製品紹介 |
日立透過電子顕微鏡
H-9500 |
半導体から各種材料まで幅広い分野で高スループットで原子像を観察する装置 |
製品紹介 |