環境適合製品一覧

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〈光分析装置（分光光度計ほか）〉

製品名 機能 • 特徴 レシオビーム分光光度計 U-5100 試料中の吸光度（透過率）を測定することにより、試料中の成分の同定と定量を行う装置 日立分光光度計 U-3900 日立分光光度計 U-3900H 日立分光蛍光光度計 F-7000 試料の蛍光特性を測定することにより試料中の微量成分の測定を高感度で行う分析装置 日立偏光ゼーマン 原子吸光光度計 Z-2000 試料中の微量金属成分の量を測定する装置。（フレームとグラファイトファーネスの両方の方式による分析を行います。） 日立偏光ゼーマン 原子吸光光度計 Z-2300 試料中の微量金属成分の量を測定する装置。（フレーム方式による分析を行います。） 日立偏光ゼーマン 原子吸光光度計 Z-2700 試料中の微量金属成分の量を測定する装置。（グラファイトファーネス方式による分析を行います。）

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〈クロマトグラフ〉

製品名 機能 • 特徴 日立高速アミノ酸分析計 L-8900 高速液体クロマトグラフを応用したアミノ酸分析専用の分析装置 タンパク質解析用液体 クロマトグラフ質量分析計 Nano-Frontier 細胞、血清、尿などに含まれるタンパク質や代謝物解析用の質量分析装置 液体クロマトグラフ L-2100形ポンプ （SMASH） 液体試料中の混合物を各成分ごとに分離させて検出する装置。貴重で微量な材料の分析に適しています。 液体クロマトグラフ L-2130形ポンプ （HTA） 液体試料中の混合物を各成分ごとに分離させて検出する装置。高速分析に適しています。

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〈臨床検査用装置〉

製品名 機能 • 特徴 日立自動分析装置 LABOSPECT008 ＜タイプ1＞ 血液の中に含まれる特定成分の濃度を自動的に測定する装置（処理能力最大2,900テスト/時、同時分析項目数最大73項目） 日立自動分析装置 LABOSPECT003 血液の中に含まれる特定成分の濃度を自動的に測定する装置（処理能力最大320テスト/時、同時分析項目数最大45項目） 日立自動分析装置 7180 血液の中に含まれる特定成分の濃度を自動的に測定する装置（処理能力最大1,200テスト/時、同時分析項目数最大89項目） 日立自動分析装置 9000シリーズ 血液の中に含まれる特定成分の濃度を自動的に測定する装置（処理能力最大1,000テスト/時、同時分析項目数最大63項目）

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〈電子顕微鏡/関連装置〉

製品名 機能 • 特徴 日立低真空分析 走査電子顕微鏡 SU6600 最新の低真空機能付きで、優れた分解能と安定した電子ビーム電流を両立した装置 日立電界放出形 透過電子顕微鏡 HF-3300 安定した超高分解能と新たな解析手法を併せ持った次世代装置 日立透過電子顕微鏡 H-9500 半導体から各種材料まで幅広い分野で高スループットで原子像を観察する装置 日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700 球面収差補正機能でより高分解能 • 高感度分析が出来る装置 日立透過電子顕微鏡 HT7700 ユニバーサルデザインに基づきTEM操作をモニタに一元化し、明るい部屋で低倍率 • 広視野観察や高コントラスト • 高分解能観察が可能な装置 日立集束イオンビーム 加工観察装置 FB2200 大ビーム電流による高速 • 大面積加工と低加速電圧による低ダメージ加工を両立し、さらに、マイクロサンプリングによるピンポイント薄膜試料作製を可能にした装置 日立集束イオン/ 電子ビーム加工観察装置 nanoDUE'T( R ) NB5000 高速試料作製と高精度加工終点検出を両立した装置 イオンミリング IM4000 走査電子顕微鏡で観察や表面分析を行う際に、断面試料を作製するための前処理装置

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〈半導体製造関連〉

製品名 機能 • 特徴 日立高分解能 FEB測長装置 CG4000 電子線を用いて、半導体の微細パターンの寸法計測を行う装置（主要対応ウェーハサイズ：300mm） 日立ディフェクトレビューSEM RS−5000 最先端プロセスのウルトラLSIの欠陥を高速で自動精査する装置 日立ディフェクトレビューSEM RS-5500 高画質、高欠陥捕捉率、高スループット、高精度自動欠陥分類の基本性能に加え、プロセスモニターを掲載した装置 半導体検査SEM I-6300 電子線を用いた半導体微細パターンの欠陥検出を行う装置

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〈FPD製造 • 検査装置〉

製品名 機能 • 特徴 大型ガラス基板露光装置 LE0200S 第8世代に対応したXYステップ プロキシミティ露光装置でカラーフィルターの各露光プロセスに対応可、また各種Ｌｉｎｅ構成に自在に対応します。 大型ガラス基板露光装置 LE0150S 第7.5世代に対応したXYステップ プロキシミティ露光装置でカラーフィルターの各露光プロセスに対応可、また各種Line構成に自在に対応します。 大型ガラス基板露光装置 LE0100S 第7世代に対応したXYステップ プロキシミティ露光装置でカラーフィルターの各露光プロセスに対応可、また各種Line構成に自在に対応します。 大型ガラス基板露光装置 LE0300 第10世代の大型ガラス基板に対応した高生産性、高精度を実現したカラーフィルタ用プロキシミティ露光装置 大型ガラス基板露光装置 LE9300S 第6世代に対応したXYステップ プロキシミティ露光装置でカラーフィルターの各露光プロセスに対応可、また各種Line構成に自在に対応します。 大型ガラス基板露光装置 LE9100S 第5世代に対応したXYステップ プロキシミティ露光装置でカラーフィルターの各露光プロセスに対応可、また各種Line構成に自在に対応します。 ウェット洗浄装置 LC2800 第8世代の大型基板に対応した、洗浄 • アルカリ薬液 • 有機薬液 • 酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン ウェット洗浄装置 LK2800 第8世代の大型基板に対応した、洗浄 • アルカリ薬液 • 有機薬液 • 酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン ウエット洗浄装置 LC2700 第7世代の大型基板に対応した、洗浄 • アルカリ薬液 • 有機薬液 • 酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン ウェット洗浄装置 LC2600 第6世代の大型基板に対応した、洗浄 • アルカリ薬液 • 有機薬液 • 酸薬液の各種処理のウエットプロセスライン ウエット洗浄装置 LC2100 プロセス処理長を短縮し高スループット対応を実現した第10世代大型ガラス基板用洗浄装置 TAB実装/COG実装兼用 LINE  AL7120 LCDのモジュール組立工程でセル基板のリードとLCD表示駆動用回路（ドライバIC）をACF（異方性導電幕）を用いてボンディング接続する装置。COG実装兼用機としラインナップへ追加。 TAB/COG実装装置 AL7150 最大47インチ液晶TV用のモジュール組み立て全自動一貫ライン PCB接合装置 AB7150 大板対応設備をラインアップしたPCB接合装置で、TAB搭載装置等のユニットと組合せモジュール組立全自動一貫ライン化が可能 TAB搭載機 AL6000 LCDのモジュール組立工程でセル基板のリードとLCD表示駆動用回路（ドライバIC）をACF（異方性導電幕）を用いてボンディング接続する装置 PCB接合装置 AB6000 小、中板対応設備をラインアップしたPCB接合装置で、TAB搭載装置等のユニットと組合せモジュール組立全自動一貫ライン化が可能 ガラス基板検査装置 GI7800 第8世代大型ガラス基板に対応したガラス基板検査装置。 当社独自の開発により高信頼性で高検出感度が可能。高速検査、高倍率でのTVモニタによる異物観察を実現。

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〈磁気ディスク製造 • 検査装置〉

製品名 機能 • 特徴 ディスクハンドリング装置 RA5500 RQシリーズディスクテスタのディスクハンドリング装置 ディスクテスタ RQシリーズ 最終メディア検査工程においてバーニッシュ/グライドテスト、サーティファイテストおよびパラメトリックテストを一台の装置で高速処理する自動検査システム 光学式メディア検査装置 RQ9000 ディスク面上の微細な欠陥を、光学技術を用いて全面検査する装置でハンドリング装置との組合わせで、高速処理できる自動検査装置 ヘッドテスタ RH5200 高周波数回路および狭トラック対応スピンスタンドの採用により、磁気ヘッド(GMR/TMR/垂直)を高周波数 • 高精度位置決め処理にて各種特性等を測定 • 解析する装置 ディスク表面検査装置 NS7000R マルチ方位レーザ照射方式および新開発の傾斜検出方式によりサブスレートやディスク表面の欠陥を高速度で測定し、高い欠陥弁別能力を有する量産型装置 ナノパターン検査装置 NA3000 バッチスクラブ FS7000 25枚の基板を同時スクラブ洗浄する全自動装置

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〈制御/監視システム • 分析装置関連製品〉

製品名 機能 • 特徴 環境モニタリングシステム ZigMo ZRN-SN 製造環境モニタリングシステム用の温度、湿度等センサ情報を無線で伝送するセンサノード テレメータ DDW-3000 自己診断機能や優先伝送など各種のインテリジェント機能を備えた小形かつ高機能の遠隔監視制御装置 PCBオンラインモニタ CP-2000P PCB分解処理設備でのPCB濃度を連続的に測定 • 監視する装置 異物検知装置 KD-1000 食品表面上の異物（毛髪）を高信頼性で検出し、食の安全 • 安心に貢献する検知装置 オペレータズコンソール POC-NO1 環境、水処理設備および化学、薬品、食品プラントなどの監視制御システム用操作卓

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〈マウンタ • スクリーン印刷機〉

製品名 機能 • 特徴 ダイレクトドライブ モジュラーマウンタ GXH-3 GXH-1シリーズの基本性能を継承し、95,000チップ／Hrという業界トップクラスのスループットでプリント基板上にチップ部品を実装する装置 コンパクトプレミアム モジュラーマウンタ Σ‐G4 70,000チップ/Hrという業界トップクラスのスループットでプリント基板上に部品を実装する装置、前面部品供給タイプ コンパクトプレミアム モジュラーマウンタ Σ-G5 70,000チップ/Hrという業界トップクラスのスループットでプリント基板上に部品を実装する装置、両面部品供給タイプ コンパクトプレミアム モジュラープリンタ Σ‐P4 ±20μmという業界トップクラスの印刷精度でプリント基板上にクリームはんだを印刷する装置

〈鉄道設備検査装置〉

製品名 機能 • 特徴 多眼式架線検測装置 TG6000 高輝度LED使用により検出部の省スペース化を実現。営業車をはじめ多様な車両への搭載が可能。