| 1947年 4月 |
資本金19万5000円をもって、 株式会社日之出商会として、東京都中央区に設立 |
| 1947年10月 |
日製産業株式会社に社名変更 |
| 1953年 1月 |
本社所在地を東京都港区に移転 |
| 1960年 5月 |
ニューヨーク出張所(現アメリカ日立ハイテクノロジーズInc.)設置 |
| 1960年 7月 |
デュッセルドルフ出張所(現ヨーロッパ日立ハイテクノロジーズGmbH)設置 |
| 1960年 9月 |
松江日製株式会社(現日製電機株式会社)設立 |
| 1962年 9月 |
サンパウロ出張所(現ブラジル日立ハイテクノロジーズLtda.)開設 |
| 1964年 2月 |
香港駐在所(現香港日立ハイテクノロジーズ有限公司)設置 |
| 1964年 3月 |
本社所在地を東京都港区西新橋二丁目に移転 |
| 1965年 4月 |
日立計測器サービス株式会社設立 |
| 1971年10月 |
東京証券取引所第2部に上場 |
| 1972年 3月 |
シンガポール出張所(現シンガポール日立ハイテクノロジーズPte.Ltd.)設置 |
| 1972年 4月 |
日製石油販売株式会社(現 株式会社日製メックス)設立 |
| 1972年10月 |
大阪証券取引所第2部に上場 |
| 1973年 7月 |
株式会社日製エレクトロニクス(現 株式会社日立ハイテクトレーディング)設立 |
| 1978年 8月 |
フランス日製産業S.A.R.L(現フランス日立ハイテクノロジーズS.A.R.L.)設立 |
| 1980年 4月 |
カナダ日製産業Inc.(現カナダ日立ハイテクノロジーズInc.)設立 |
| 1983年9月 |
東京証券取引所・大阪証券取引所第1部に上場 |
| 1983年10月 |
日製ソフトウェア株式会社設立(現 株式会社日立ハイテクソリューションズ) |
| 1986年 3月 |
本社所在地を東京都港区西新橋一丁目に移転 |
| 1987年 4月 |
日製サービス株式会社設立 |
| 1987年10月 |
日製エンジニアリング株式会社(現 株式会社日立ハイテクトレーディング)設立 |
| 1992年 1月 |
マレーシア日製産業会社(現マレーシア日立ハイテクノロジーズIPC Sdn.Bhd.) 設立 |
| 1993年 4月 |
日製サイエンス株式会社設立 |
| 1994年 1月 |
タイランド日製産業会社(現タイランド日立ハイテクノロジーズLtd.)設立 |
| 1994年10月 |
上海日製産業有限公司(現上海日立ハイテクノロジーズ有限公司) 設立 |
| 1999年 3月 |
日製三洋ハイテクサービスPte.Ltd.(現日立ハイテクインスツルメンツサービス(アジア)PTE.Ltd.)設立 |
| 2001年10月 |
日立製作所の計測器グループ、半導体製造装置グループとの事業統合に伴い社名を「株式会社日立ハイテクノロジーズ」に変更、日立サイエンスシステムズ、日立那珂エレクトロニクス、日立那珂インスツルメンツ、計測テクノロジー(現 日立ハイテクマニュファクチャ&サービス)をグループ会社化 |
| 2002年 1月 |
 |
| 2002年 3月 |
ギーゼッケ・アンド・デブリエント設立 |
| 2003年 4月 |
三洋ハイテクノロジー株式会社(現 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ)および三洋ハイテクサービス株式会社(現 株式会社日立ハイテクインスツルメンツサービス)をグループ会社化 |
| 2003年6月 |
委員会等設置会社に移行 |
| 2004年 3月 |
日立電子エンジニアリング株式会社(現 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社)をグループ会社化 |
| 2004年4月 |
株式会社日製エレクトロニクスと日製エンジニアリング株式会社を合併し、株式会社日立ハイテクトレーディングを設立 |
| 2004年7月 |
計測テクノロジー株式会社と日立那珂インスツルメンツ株式会社を合併し、株式会社日立ハイテクマニュファクチャリング&サービスを設立 |
| 2005年4月 |
株式会社日製サイエンスを株式会社日立ハイテクノロジーズに吸収合併 |
| 2005年4月 |
日立ハイテクノロジーズコリア株式会社を設立 |
| 2005年5月 |
日立高科技貿易(上海)有限公司を設立 |
| 2006年4月 |
日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社を株式会社日立ハイテクノロジーズに吸収合併 |
| 2007年4月 |
株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズを株式会社日立ハイテクノロジーズに吸収合併 |