| 2001年(平成13年)10月 |
日立製作所の計測器グループ、半導体製造装置グループとの事業統合に伴い社名を「株式会社日立ハイテクノロジーズ」に変更、日立サイエンスシステムズ(日立ハイテクサイエンスシステムズに社名変更)、日立那珂エレクトロニクス(現 日立ハイテクコントロールシステムズ)、日立那珂インスツルメンツ(現 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス)、計測テクノロジー(現 株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービス)をグループ会社化
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| 2002年(平成14年)1月 |
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| 2002年(平成14年)3月 |
ギーゼッケ・アンド・デブリエント株式会社設立
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| 2003年(平成15年)4月 |
三洋ハイテクノロジー株式会社(現 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ)および三洋ハイテクサービス株式会社(現 株式会社日立ハイテクエンジニアリングサービス)をグループ会社化
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| 2003年(平成15年)6月 |
委員会等設置会社に移行
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| 2004年(平成16年)3月 |
日立電子エンジニアリング株式会社(日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社に社名変更)をグループ会社化
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| 2004年(平成16年)4月 |
株式会社日製エレクトロニクスと日製エンジニアリング株式会社を
合併し、株式会社日立ハイテクトレーディングを設立
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| 2004年(平成16年)7月 |
計測テクノロジー株式会社と日立那珂インスツルメンツ株式会社を
合併し、株式会社日立ハイテクマニファクチャ&サービスを設立 |
| 2005年(平成17年)4月 |
株式会社日製サイエンスを株式会社日立ハイテクノロジーズに
吸収合併
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| 2005年(平成17年)4月 |
日立ハイテクノロジーズ韓国株式会社を設立
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| 2005年(平成17年)5月 |
日立高科技貿易(上海)有限公司を設立
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| 2005年(平成17年)9月 |

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| 2006年(平成18年)4月 |
日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社を株式会社日立ハイテクノロジーズに吸収合併
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| 2007年(平成19年)4月 |
株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズを株式会社日立ハイテクノロジーズに吸収合併
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| 2007年(平成19年)6月 |
日立ハイテクデーイーテクノロジー株式会社と株式会社日立ハイテクインスツルメンツサービスが合併し、株式会社日立ハイテクエンジニアリングサービスを設立
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