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設計データ応用計測システム　DesignGauge®シリーズ

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RecipeDirector

セクションタイトル特長

  • ウェーハと測長SEMを使用せず、測定レシピをオフラインで作成が可能
  • 計測点と測長方法を指定するだけで、自動でレシピ作成が可能
  • サーバ＆クライアント方式を採用
製品写真：RecipeDirector

設計データを活用した測長SEM測定レシピ自動作成

DesignGauge-Analyzer

セクションタイトル特長

  • CG4000シリーズで取得したSEM画像の再測長
  • SEM画像閲覧及びシート形式による測長結果確認等のデータ解析機能を搭載
  • 測長アルゴリズムを用いたContour（パターン形状の輪郭線）抽出機能
製品写真：DesignGauge-Analyzer

リソグラフィー工程のOPC評価、パターン計測最適化支援

※「DesignGauge」は（株）日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。

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テクニカルレポート

日立ハイテクデバイス関連機器の技術情報を掲載しています。