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設計データ応用計測システム　DesignGauge®

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"DesignGauge®"は、高分解能FEB測長装置 (S-9380II/CG4000) とネットワークで接続する設計データ応用計測システムです。
設計データとSEM画像の自動マッチング技術をコアテクノロジーとし、OPC＊評価や、オフラインによる設計データを使用したレシピ作成等の測長SEM単体ではできない新しいアプリケーションを実現するシステムです
*OPC ： Optical Proximity Correction

セクションタイトル特長

  • 設計データを使ったパターンマッチング機能（Design テンプレートマッチング機能）
  • EPE（Edge Placement Error）測長機能
  • 測長SEMリモート制御機能（オプション）
  • 測長SEMのオフラインレシピ作成、および測定結果取得機能（オプション）
  • 設計データを使ったレシピ自動生成機能
  • 取得済みSEM画像の測長機能（Post-Measurement機能）
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※「DesignGauge」は（株）日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。

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