日立マイクロ波ECRプラズマエッチング装置　M-7150（M-712XT）

多くの実績を持つマイクロ波ECR技術に、最新の歩留向上と生産性向上技術を加味した300mmウェーハ対応のシリコンエッチング装置です。2エッチングチャンバー、2アッシングチャンバーの搭載が可能で、APC（Advanced Process Control）システムのオプション装備も対応いたします。