半導体計測・検査装置

日立高分解能FEB測長SEM装置　CG4000シリーズ

32nm世代プロセス対応測長SEM

設計データ応用計測システム　DesignGauge^®シリーズ

RecipeDirector：設計データを活用した測長SEM測定レシピの自動作成が可能
DesignGauge-Analyzer：リソグラフィー工程のOPC評価、パターン計測最適化を支援

日立欠陥レビューSEM装置「Inspago」 RS6000シリーズ

高速ADR, 高精度ADCにより歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM装置

日立ウェーハ表面検査装置　LSシリーズ

パターン無しウェーハ上の微小異物・欠陥を高感度に検出する次世代対応ウェーハ表面検査装置

日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置　ISシリーズ

歩留まり向上と生産コスト削減に貢献する次世対応暗視野式ウェーハ欠陥検査装置