日立SEM式ウェーハ検査装置 I-5320/I-6300

高感度検査

• 高分解能電子光学系。
• VCC（注1）機能による電位コントラスト欠陥検出。

量産対応

• DDI（注2） モードによる短時間検査。
• 検査パラメータ設定の容易化。

高信頼度

• 信頼性の高い検査装置。

（注1） VCC：Voltage Contrast Control
（注2） DDI：Defect Distribution Inspection