日立暗視野式ウェーハ欠陥検査装置　ISシリーズ

特長

高感度検出と高スループット検査を両立

• 暗視野式イメージング方式により、高感度、高速モニタリングを実現。

マルチモード検査機能搭載により検出能力向上

• Killer工程での高感度検査とモニタリング工程での高スループット検査などに切り替え可能。検査可能な工程が拡大。

ユーザフレンドリな操作性

• シンプルなパラメータ設定によるレシピ作成。

解析サポート機能による歩留まり向上支援

• ディフェクトレビューSEMとのスムーズなリンクにより、検出欠陥の観察が可能。