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日立欠陥レビューSEM装置「Inspago」 RS6000シリーズ

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製品写真：日立欠陥レビューSEM装置「Inspago」 RS6000シリーズ

高速ADR、高精度ADCにより、歩留まり改善に貢献するインライン対応レビューSEM

セクションタイトル特長

高画質・高コントラスト・高分解能SEM画像

高スループット欠陥検出（ADR）

自動欠陥分類(ADC)

  • ユーザーフレンドリーなGUI

ベアウェーハ自動レビュー

  • 高い微小欠陥検出能力

高感度欠陥検査とプロセスモニタリング

システマティック欠陥分類機能

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テクニカルレポート

日立ハイテクデバイス関連機器の技術情報を掲載しています。