日立ディフェクトレビューSEM RS-5000シリーズ

45nm世代デバイスの高歩留りを支えるディフェクトレビューSEM RS-5000シリーズ。 全自動インラインユースをコンセプトとした日立ディフェクトレビューシステム「RS-5000シリーズ」は、高画質、高欠陥捕捉率、高スループット、高精度自動欠陥分類の基本性能に加え、プロセスモニターのための新機能を搭載し、歩留り向上に直結した情報をいち早く提供することで、デバイス製造ラインの歩留り向上に大きく寄与します。

特長

高画質・高コントラスト

• 新電子光学系により陰影コントラストの向上、帯電影響の抑制を図り、微小欠陥、低段差欠陥を確実にキャプチャー

高スループット欠陥検出 (ADR)

• パターンの規則性を認識し自動的に欠陥検出モードを切り替える 拡張参照レスモード により、高スループットADRを実現

自動欠陥分類 (ADC)

• 日立独自の分類アルゴリズムにより簡単操作で高精度な分類を実現

オプション

• ノンパターン自動レビュー
• プロセスモニタリング
• インテリジェントサンプリング　(RI-1000)

仕様

日立ディフェクトレビューSEM RS-5000シリーズ 製品仕様

項目	内容
ウェーハサイズ	300 mm/200 mm
オートローダー	2 FOUP対応ランダムアクセス方式
自動欠陥レビュー検出率	90%以上
自動欠陥分類正解率	85%以上

*本内容は、改良のため予告なく変更することがあります。