ワイドエリアAFM　WA3200/WA3300

ミクロからマクロエリアまで一台で測定。

ワイドエリアAFM（WAシリーズ）は、低バネ定数のカンチレバーを用い、高速で高精度な計測、クリーン化への対応、通信機能、深穴計測用ステップインモード、自動探針交換など、優れた機能を有する表面形状観察装置です。マイクロラフネスや段差計測など、最大40mm角エリアから0.1エリアまでを段階的に観察でき、半導体分野での平坦化プロセス“CMP”の平面度やトレンチ構造“STI”のプロファイル計測をはじめ幅広い用途に対応できます。