笠戸事業所では半導体製造工程におけるプラズマエッチング装置の製造をしています。また、日立グループ内の半導体事業所から得られる量産技術での利点を活かすとともに、各研究所との緊密な連携から将来技術の開発も進めています。
〒744-0002 山口県下松市大字東豊井794番地 TEL：0833-41-8704／FAX：0833-41-8691
日立ハイテクデバイス関連機器の技術情報を掲載しています。
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