小型パッケージに対応した、150〜300mmウェーハ対応リニアモータ搭載による高速・インテリジェントダイボンダ
リニアモータ採用による新開発ボンダヘッド・搬送システム搭載
日立ハイテクデバイス関連機器の技術情報を掲載しています。