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更新履歴

2007年

	2007年11月9日	展示会・セミナー「SEMICON^(R)Japan 2007」のご案内を掲載しました。
	2007年7月20日	製品情報に「日立ディフェクトレビューSEM RS-5000シリーズ」を掲載しました。
	2007年3月23日	製品情報「日立高分解能FEB測長装置　CG4000」の詳細を掲載しました。

2006年

	2006年12月6日	【ニュースリリース】超微細パターンに対応した新型の測長SEMを開発
	2006年12月1日	製品情報「設計データ応用計測システム　DesignGauge V2」の詳細情報を掲載しました。
	2006年11月8日	展示会・セミナー「SEMICON^(R)Japan 2006」のご案内を掲載しました
	2006年4月17日	「テクニカルレポート」を追加掲載しました。
	2006年4月10日	製品情報「日立ディフェクトレビューSEM　RS-4000」の詳細情報を掲載しました。

2005年

	2005年11月16日	「SEMICON Japan 2005」　日立グループブースのご案内
	2005年9月9日	「SEAJ Forum 2005」のご案内
	2005年7月19日	テクニカルレポート「電子の波に魅せられて」を掲載しました
	2005年5月20日	【ニュースリリース】300mmウェーハ対応のダイボンダー、出荷300台を達成
	2005年5月17日	【ニュースリリース】半導体検査装置工場を那珂事業所に竣工
	2005年4月1日	サイトをリニューアルしました。