CL

高分解能像が得られるパラボラミラーと光ファイバーを使わないライトガイドの組み合わせが特長のGATAN UK製のカソードルミネッセンス（CL）システムです。グレーティングと検出器の組み合わせは何種類も選択できて、試料の波長や信号強度に合わせて最適なシステムを構築することができます。CCDアレイ検出器では短時間でスペクトル収集ができ、スペクトルイメージングも可能です。紫外域から赤外域まで幅広いアプリケーションに対応することができます。

カソードルミネッセンスは光学的な機能評価であり形状観察では得られない情報を得ることができ、微小領域の物性評価が広く行われており、表面下にある構造の観察・評価、ワイドギャップ材料の評価、欠陥・不純物の評価など、その応用は多岐に渡っています。化合物半導体材料、セラミックや生物等の分野でも使用されています。化合物半導体材料、セラミックや生物等の分野でも使用されています。FE-SEMとの組み合わせを励起源により、ナノスケールでの高空間分解能のカソードルミネッセンス評価が可能です。