EDX（EDS）

• 非導電性サンプルでも正確に分析できる
• マッピング結果の見直しが自由に行なえる
• リアルタイム相分析で測定中に評価・解析が行なえるGenesis XM4は異なる応用分析に対応します。
• 電子顕微鏡ステージを制御するオートメーション分析
• 各種検出器（WDS/EBSD）をインテグレートできる拡張性

Genesisシリーズのオプション検出器として選択できる液体窒素レスのシリコンドリフト（SDD）検出器です。

電子顕微鏡に取り付けて₅B〜₉₂U（₄Be〜₉₂U）までの元素分析を行うシステムです。手順を示すNavigatorシステムにより、分析設定からデータ収集、レポート作成までの一連の作業を簡単に効率よく行うことができます。また、最新のX線パルスプロセッサであるx-streamと30mm²のSi（Li）素子の組み合わせで優れたピーク位置安定性を実現しており、入力4,000cpsでの検出器分解能を保証しています。

世界で初めて分析用に設計されたAnalytical Drift Detectorです。従来の液体窒素冷却Si（Li）検出器と同じ定性・定量精度を1,000cps〜100,000cpsで保証します。さらに大電流・高カウントで高速マッピング収集に対応する最先端EDX検出器です。冷却完了までわずか90秒で、使いたいときにすぐ分析を始められる簡便さもあります。定性・定量の正確さと高速で使いやすさが両立した次世代EDXのスタンダードです。

EDSの充実した基本性能に加え、オーバーラップする元素のピーク分離マッピングが可能であり、自動で主成分を抽出するCompassソフト、指定エリアの生スペクトルを抽出するXphaseソフトをオプションで備え、さらCompass,　Xphaseソフトを試料測定中にリアルタイムで動作させ、結果を表示するDirect to Phaseソフトがバージョン2で加わりました。
検出器も従来のSi（Li）と液体窒素レスのSDD検出器を揃え、選択いただけます。

Quantaxシリーズは、液体窒素レスのシリコンドリフトXFlash^®検出器を標準搭載した電子顕微鏡用EDX元素分析装置です。この検出器は出力275kcpsという、きわめて高いカウントレートでの動作保証をしています。デッドタイムを気にすることなく、高速でX線マッピングを取得できます。また、エネルギー分解能も125eV（保証）まで対応可能で、ベリリウムまで検出可能です。ピーク分離が容易で精度の良い分析が可能となります。また、検出効率の良い30mm² の検出器もラインナップされています。

EMAXシリーズは操作性の向上と分析性能の追求を両立し、今までにない分析環境をご提供します。またスペクトルオーバーレイやバブルヘルプなどの分析支援機能を多数搭載し、あらゆる方に精度の高いデータをご提供します。
（プラチナム検出器）エネルギー分解能：129eV〜、Be〜

*検出器2年保障、30mm² 素子を標準搭載

液体窒素が不要の次世代の検出器が完成しました。迅速な立ち上げが可能で、メンテナンスが必要ありません。また高計数率性能によりマッピング時間が大幅に短縮できます。好評のEMAXソフトウエア（日本語対応）をすべて継承し、定量マップやエレメントキャッチャーなどの機能をさらに効果的に利用できます。
（プレミアム検出器）エネルギー分解能：129eV〜、Be〜