EELS

微小部の軽元素分析ができます。高分解能スペクトルから状態分析も可能です。また、STEM機能と組み合わせて、スペクトルイメージングにより元素マップが取得できます。PC制御により操作が容易です。

コントラストの高いゼロロス電顕像と電子線回折像が得られます。
マルチスキャンカメラ像としてその場観察ができます。
高速で指定元素の分布像が得られます。またスペクトル測定により、微小部の元素分析ができます。