WDX（WDS）

定評ある横型スペクトロメータを採用した波長分散型X線分析装置です。分光結晶は、4結晶タイプと5結晶タイプがありますが、オプションで6結晶まで拡張できます。タンデム検出器でBe、BからUまでのすべての元素を高分解能で収集できます。結晶の切り替えやスリット位置調整も完全自動化されていて、EDX波形の上をマウスで指定するだけで目的の波長の分析を自動的に行えるINCA Energy+というオプションもあります。

平行ビーム波長分散型X線検出器「LambdaSpec」シリーズは、Genesisにインテグレートし、高感度のED/WD同時分析を実現する、次世代の検出器です。
新発想の平行ビーム光学系により発散する前のX線を集光するため、特に低エネルギー領域で飛躍的な高感度を実現しました。
微量元素の分析や低エネルギーによるサブミクロン分析等、解析にニーズにソリューションを提供します。

MAXrayは低加速電圧、微小ビーム電流で使用可能な高感度波長分散型X線検出器です。
検出元素エネルギー範囲は0.1〜1.8KeV（MAXray-ST）、0.1〜10KeV（MAXray-ER）の2種類から成ります。先端部に特殊X線集光部を備え立体角を大きくしたことにより、特に軽元素検出感度が飛躍的に向上しました。単独使用も可能ですが、EDS（NORAN / VANTAGE）との併用が効果的です。