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日立SEM用冷水循環装置 W-5020Td

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製品写真：日立SEM用冷水循環装置 W-5020Td

FE-SEMの高性能化に対応し、高精度に温度制御された冷却水をSEMに供給します。
循環方式のため、節水でき、ランニングコストの低減ができます。

セクションタイトル特長

  • SEMの運転／停止に同期させての運転／停止ができるため、冷却水操作の煩わしさがありません。
  • 給排水工事が不要な上、使用水量が水槽容量のみのため節水できます。
  • 凍結の恐れがある場合、不凍液を使用して運転できます。
  • オゾン層に優しい新冷媒HFC-134a（170g）を使用しています。
  • 消費電力を約23%削減しました（当社従来機種W-5030Tqとの比較）。
  • 冷媒（HFC-134a）の使用量を約23%低減しました（当社従来機種W-5030Tqとの比較）。

セクションタイトル仕様

日立SEM用冷水循環装置 W-5020Td 製品仕様
項目 内容
使用環境条件 室温：5〜30℃、湿度：70%以下
性能保証条件 室温：15〜25℃、湿度：70%以下
冷却水設定温度 18℃
冷却水吐出圧力 95/127kPa （50/60Hz） （最大）
冷却水流量 27/31 L/min （最大）（接続装置により変化します）
（流量調節バルブ内蔵）
有効水槽容量 約16L （液面計付き）
冷却能力 0.40/0.45kW（液温18℃、室温30℃、±5%） （50/60Hz）
加熱用ヒータ 1.0kW（500W×2）
使用冷媒 HFC-134a （約170g） （オゾン破壊係数 0.0）
運転時発生熱量 約1.5kW（接続装置により変化します）
所要電源 単相AC100V（±10%）、2.0kVA（50/60Hz）
リモート運転信号入力 DC24V
その他 キャスター付き・各種安全機構付き・床面への固定金具オプション設定
大きさ・質量
項目 幅×奥行き×高さ 質量
本体 400×450×665 mm 約73kg （水槽内冷却水含む）
適用機種
項目 内容
日立走査電子顕微鏡 S-4800、S-5200

セクションタイトル設置例

日立SEM用冷水循環装置 W-5020Tdの設置例
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