日立SEM/FIB用冷水循環装置 W-5030
 |
走査電子顕微鏡用として、高精度に管理された冷却水を供給する装置です。
循環方式の為節水でき、ランニングコストの低減ができます。主にDPの冷却に適しています。
|
特長
- SEMの運転と同期して起動、停止するため、冷却水操作の煩わしさがありません。SEM停止時は、DP冷却後自動的に停止します。
- 給排水工事が不要です。
- 使用水量が水槽の容量だけで、節水ができます。
- 凍結の恐れがある場合、不凍液を使用して運転できます。
- 万一、給排水の接続部分などから漏水があった場合でも、一定量の流出のみですみます。
- オゾン層に優しい新冷媒HFC-134aを使用しています。
仕様
日立SEM/FIB用冷水循環装置 W-5030 製品仕様
| 項目 |
内容 |
| 使用環境条件 |
室温:5〜30℃、湿度:70%以下 |
| 冷却水設定温度 |
20℃ |
| 冷却水吐出圧力 |
95/127kPa（揚程約9.5/12.7m）（50/60Hz）（最大） |
| 冷却水流量 |
27/31 L/min（最大）（接続装置により変化します）
（流量調節バルブ内臓） |
| 有効水槽容量 |
約16L（液面計付き） |
| 冷却能力 |
0.89/1.02kW（770/880kcal/h）
（液温20℃、室温30℃、±5%）（50/60Hz） |
| 使用冷媒 |
HFC-134a（約300グラム）（オゾン破壊係数0.0） |
| 運転時発生熱量 |
約1.5kW（約1,300kcal/h）（接続装置により変化します） |
| 所要電源 |
単相AC100V（±10%）、1.5kVA（50/60Hz） |
| リモート運転信号入力 |
a接点・AC100V（その他の電圧もオプション対応） |
| 非常停止信号入力 |
a接点 |
| その他 |
キャスター付き・各種安全機構付き・床面への固定金具オプション設定 |
大きさ・質量
| 項目 |
幅×奥行き×高さ |
質量 |
| 本体 |
400×450×665mm |
約70kg（水槽内冷却水含む） |
適用機種
| 項目 |
内容 |
| 日立走査電子顕微鏡 |
S-2000、S-3000、S-4000、S-5000シリーズほか |
| 日立集束イオンビーム装置 |
FB-2000シリーズ |
| 日立フラットミリング |
E-3000シリーズ |
* その他の適用機種に使用した場合は、排気系のON/OFFに連動して自動的に冷却水を供給します。
* 上記適用機種以外に同期運転したい場合は、ご相談ください。
ページトップへ
