冷却水循環装置

日立SEM用冷水循環装置 W-5020Td

FE-SEMの高性能化に対応し、高精度に温度制御された冷却水をSEMの電子レンズ冷却用に供給します。循環方式のため、節水できランニングコストの低減ができます。SEMに同期させて運転／停止ができるため、冷却水操作の煩わしさがありません。

• 所要電源：単相：AC100V、2.0kVA
• 大きさ、質量：400（W）×450（D）×665（H）mm、約73kg

日立SEM/FIB用冷水循環装置 W-5030

SEM/FIBなどへ高精度に管理された冷却水を供給する装置です。循環方式のため節水でき、ランニングコストの低減ができます。主に油拡散ポンプ（DP）の冷却に適しています。SEMに同期して運転／停止ができるため冷却水操作の煩わしさがありません。 アフタークール後の自動停止も可能です。

• 所要電源：単相：AC100V、1.5kVA
• 大きさ、質量：400（W）×450（D）×665（H）mm、 約70kg

120kV・200kV-TEM用冷却水循環装置です。

• 所要電源：三相：AC200V、10kVA
• 装置電源端子：M5×4（電源ケーブルは付属しません）
• 大きさ、質量：518（W）×724（D）×1,356（H）mm、 約220kg

300kV-TEM用冷却水循環装置です。

• 所要電源：三相：AC200V、15kVA
• 装置電源端子：M6×4（電源ケーブルは付属しません）
• 大きさ、質量：745（W）×880（D）×1,620（H）mm、 約330kg