走査電子顕微鏡（FE-SEM）

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500

対物レンズの強励磁化により0.4nm（30kV）と世界最高分解能（注1）を更新するとともに､ 新たに開発したディスプレイ装置とGUIにより操作性も向上しました｡ また､ 新しい BF/DF Duo-STEM Detector（注2） により明視野像と暗視野像の同時観察が可能です｡

• 分解能：1.6nm at 1kV、0.4nm at 30kV
• 倍率：60〜2,000,000倍

（注1） 加速電圧30kV条件､2004年10月時点
（注2） オプション

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800

世界最高性能機S-5200形で開発した最新の電子光学技術を取り入れ、新開発の大形試料ステージを搭載した、大形試料観察用高分解能FE-SEMです。インレンズSEMに匹敵する高分解能で大型試料の観察を実現し、チャージアップやエッジ効果を抑えるNew ExBを更にパワーアップさせたSuper ExBを搭載しております。

• 分解能：2.0nm at 1kV、1.0nmat 15kV
• 倍率：30〜800,000倍
• 試料サイズ：最大150mm（200mmオプション）

日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700

大型サンプルもインレンズSEM並みの高分解能で観察可能な、日立FE-SEMの主力製品です。New ExBの搭載により、二次電子情報と反射電子情報の両方のメリットを活かしたSEMが取得できます。

• 分解能： 2.1nm at 1kV、1.5nm at 15kV （試料交換位置）
• 倍率：20〜500,000倍
• 試料サイズ：最大6インチまで

日立電界放出形走査電子顕微鏡 S-4300

PC FE-SEMの標準機です。日本語表示のGUIによるWindows環境下で快適な操作が可能です。分解能も15kVで1.5nmを保証。ネットワークをはじめ各種応用ソフトによる拡張を行えます。

• 分解能：1.5nm（15kV）、5.0nm（1kV）
• 倍率：20〜500,000倍
• 試料サイズ：最大160mm
• 加圧電圧：0.5kV〜30kV

日立超高分解能分析走査電子顕微鏡 SU-70

超高分解能観察と多様な分析を一台で対応。
セミインレンズ技術とショットキー電子銃を組み合わせた新しいコンセプトの装置です。

日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU6600

ショットキーFE電子銃を搭載し、優れた分析機能と安定した電子ビーム電流を両立。高分解能観察評価と同時にEDX,WDX,EBSPといった分析装置による材料分析が可能となった最新の低真空機能付き分析走査電子顕微鏡です。