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日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
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| 項目 | 内容 | ||
|---|---|---|---|
| 二次電子像分解能 | 1.5nm保証（加速電圧15kV、WD=12mm） 2.1nm保証（加速電圧1kV、WD=1.5mm） |
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| 反射電子像分解能 | 3.0nm保証（15kV；YAG検出器：オプション） | ||
| 倍率 | 20〜2,000倍（LMモード） 100〜500,000倍（HMモード） |
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| 加速電圧 | 0.5〜30kV（全範囲0.1kVステップ） | ||
| 電子光学系 | 軸 | Type I | Type II |
| X | 0〜25mm | 0〜100mm | |
| Y | 0〜25mm | 0〜50mm | |
| Z | 1.5〜26.5mm | 1.5〜30.0mm | |
| R | 360° | 360° | |
| T | -5°〜+45° | -5°〜+60° | |
| 試料交換室 |  100mm |
150mm |
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| 最大試料厚み | 17mm | 6mm （ただし 90mm以下なら13mm可） |
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| モーターステージ | 2軸オプション | 5軸標準 | |
| イメージナビゲーション | モーターステージに標準 | 標準 | |
| 電子光学系 | 電子銃 | 冷陰極電界放出型電子銃 | |
| 対物レンズ絞り | 4孔可動絞り （加熱タイプ：30、50、50、100  ） |
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| 検出系 | 二次電子検出器 YAG反射電子検出器（オプション） |
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| EDX分析WD | 12mm | ||
| 画像表示 | CRT表示言語 | 英語（ただし、S-4700ソフトウェアのみ） | |
| OS | Windows（R）XP Professional（注1） | ||
| 操作系 | マウス・キーボード S-4700専用標準操作パネル 拡張操作パネル（オプション） |
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| 観察用モニタ | 17型カラーCRT | ||
| 自動調整機能 | オートフォーカス、オートスティグマ オートブライトネス＆コントラスト オートスタート、オートフォト |
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| 画像信号処理 | SEMデータマネージャーソフトに各種装備 | ||
| 画像メモリー画素 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920画素 | ||
| 画像ファイリング | 各種検索機能付画像データベース内蔵 | ||
| 画像形式 | BMP（TIFF、JPEG可能） | ||
| オートデータ表示 | 加速電圧、倍率、ミクロンマーカ、 ミクロン値、フィルムNo.、WD値、 日時、写真倍率、検出器 |
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| 排気系 | 方法 | 自動排気：ニューマチックバルブ方式 | |
| 到達真空度 | 〜10-7Pa（電子銃）、〜10-4Pa（試料室） | ||
| 真空ポンプ | IP：60L/s×1、20L/s × 2 DP：570L/s × 1 RP：140（168）L/min × 2、（ ）内：60Hz |
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| 保護装置 | 停電、断水、真空度保護装置付 | ||
（注1） Windows（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp. の登録商標です。
| 項目 | 幅×奥行き×高さ | 質量 |
|---|---|---|
| 本体 | 820×930×1,650mm | 約410kg |
| ディスプレイ | 1,200×900×1,370mm | 約235kg |
| イオンポンプ電源 | 365×600×600mm | 約75kg |
| 分電ユニット | 340×700×460mm | 約30kg |
（Type I の場合）
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 室温 | 15〜25℃（59〜77°F） |
| 湿度 | 60%以下 |
| 電源 | 単相AC100V±10%、50/60Hz、4kVA（連続通電が必要です） |
| 接地 | 専用接地端子（100 以下）1個 |
| 冷却水 | 1.5〜2.0L/min、50〜100kPa{0.5〜1kgf/cm2}、10〜20℃（0.5℃/10minutes） |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 試料微動装置 | クライオステージ、ICステージ、EBIC像観察装置 試料引張装置、2軸モータードライブユニット（Type I 用） |
| 検出器関係 | YAG反射電子検出器、透過電子像装置 |
| ディスプレイ | ビデオアンプユニット、フォトマル電源ユニット 測長ソフトウェア、DBCインタフェース、拡張操作パネル |
| その他 | フォトCRT、各種カメラ装置、EDXシステム、 ターボモレキュラーポンプ排気システム、 冷却水循環装置、イメージプリンター、 EDXインテグレートソフトウェア（Hi-Mouse）、 イーサネットインタフェース、SCSIインタフェース 2モニター用テーブル、RS-232C通信インタフェース |
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