日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800 製品仕様

項目		内容
二次電子像分解能		15kV：1.0nm 1kV（リターディングモード（注1））：1.4nm 1kV（ノーマルモード）：2.0nm
電子光学系	加速電圧	0.1〜2.0kV（リターディングモード（注1）） 0.5〜30kV（ノーマルモード）
	倍率	20〜800,000倍
	対物レンズ絞り	4孔切り替え可動方式 （加熱機能組み込み）
	電気的視野移動	±12m （WD：8mm）
	走査速度	TVスキャン：（縮小表示　25/30（注2） 　フレーム/秒） Fastスキャン：（フルスクリーン表示　6.25/7.5（注2） 　フレーム/秒） スロースキャン：（フルスクリーン表示　1、4、20、40、80　秒/フレーム） （縮小表示　0.5、2、10、20、40　秒/フレーム） 写真撮影用：（2,560×1,920画素　40、80、160、320　秒/フレーム）
検出器	二次電子検出器	Upper/Lower/Upper+Lower ビームモニタ信号によるノイズ除去機能付き シグナルコントロール機能付き
	YAG形反射電子検出器	オプション
	透過電子検出器	オプション
	ファラデイカップ	オプション
	エネルギー分散型X線分析装置	オプション
試料ステージ	軸	Type-I	Type-II
	X	0〜50mm	0〜110mm
	Y	0〜50mm	0〜110mm
	Z	1.5〜30mm	1.5〜40mm
	R	360°	360°
	T	-5°〜+70°	-5°〜+70°
試料室		6インチ形	8インチ形
試料交換サイズ		100mm径（最大） 150mm径（オプション）	150mm径（最大） 200mm径（オプション）
ステージ制御		手動 3軸 モータ駆動（オプション）	5軸モータ駆動
真空排気系		全自動ニューマチックバルブ方式 ECOモード搭載 イオンポンプ 3台 ターボ分子ポンプ 1台 ロータリーポンプ 1台
OS		Windows（R）XP Professional（注3）
観察用モニタ		18.1型 LCD
画像表示モード	フルスクリーン表示	1,280×960画素
	縮小表示	640×480画素
	調整用縮小表示	320×240画素
	2画像同時表示	640×480画素×2
画像データ保存		640×480画素、1,280×960画素、 2,560×1,920画素、5,120×3,840画素
画像処理		画像処理ソフト、画像ファイリングソフト搭載
外部機器接続サポート		USBインタフェース（2ポート） ネットワークインタフェース（Ethernet）

（注1） リターディング機能はオプションです。
（注2） 50Hz/60Hz
（注3） Windows^（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp. の登録商標です。

（注4） Type-IIは、1,660mm