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日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500

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製品写真：日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500

対物レンズの強励磁化により0.4nm（30kV）と世界最高分解能を更新するとともに、新たに開発したディスプレイ装置とGUIにより操作性も向上しました。

セクションタイトル特長

  • 超高分解能0.4nm（30kV）1.6nm（1kV）を保証します。
  • 二次電子情報と反射電子情報を可変比率で加算できるシグナル可変モードが標準で搭載されています。
  • エルゴノミクスに準拠した新設計のディスプレイユニットと大型で見やすいモニターから成るハード構成に、全画面表示を標準とした新GUIを搭載しました。
  • 明視野STEM像と暗視野STEM像の同時観察が可能。また暗視野STEMモードでは検出角が変えられます。
  • 各種像観察及びEDX分析が同一試料位置で行うことができます。

セクションタイトル仕様

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500 製品仕様
項目 内容
二次電子像分解能 （高加速電圧　30kV）　0.4nm（注）
（低加速電圧　1kV）　1.6nm
加速電圧 0.5〜30kV
倍率 60〜2,000,000倍
試料ステージ移動量 （X，Y軸mm）±3.5mm×±2.0mm
最大搭載可能試料サイズ 平面　5.0mm×9.5mm×3.5mmH
断面　2.0mm×6.0mm×5.0mmH
試料ステージ方式 サイドエントリーゴニオメーターステージ

（注） 世界最高分解能（2004年10月時点）

セクションタイトル設置例

日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500の設置例
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