日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU6600

最新の低真空機能付き分析操作電子顕微鏡SU6600はショットキーFE電子銃を搭載し優れた分解能と安定した電子ビーム電流を両立。高分解能観察評価と同時にEDX,WDX、EBSPなどの分析装置による材料分析を可能にしました。さらに試料室の真空度は、高真空（～10^-4Pa）と低真空（10Pa～300Pa）へ自在に切替が可能で、高真空時では高分解能観察および大電流分析、低真空時では、前処理（導電処理など）無しで観察やEDX、EBSP分析が可能です。

ますます重要になる、最先端材料の観察評価、材料分析ツールとしてSU6600がソリューションをご提案します。

特長

最大プローブ電流 200nA

EDX、WDX、EBSPなど電子線を応用した分析装置に幅広く対応します。

低真空機能を標準装備（ADAPT機能）

絶縁物試料の観察や分析に有効な低真空機能を標準装備。高真空と低真空の切替はGUI上からの操作だけで切り替えができます。
(ADAPT: Automated Differential APerTure)

優れた基本性能

高分解能二次電子像観察だけでなく、応答性に優れた新型半導体検出器で反射電子像観察ができます。
低真空二次電子検出器（ESED-II：オプション）は、低真空でも表面形状観察が可能です。

新開発の分析試料室と試料交換器

分析試料室はEDX/WDX/EBSPの同時装着と同時分析が可能。試料交換器は、最大150 mm×40 mm(t)の試料を素早いスループットで試料交換できます。

5軸モータードライブステージを標準装備

新しいディスプレイユニットとGUI

仕様

日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU6600 製品仕様
項目		内容
二次電子像分解能		1.2 nm保証（加速電圧30 kV、WD=5 mm、180 k倍、高真空モード） 3.0 nm保証（加速電圧1 kV、WD=4 mm、80 k倍、高真空モード）
反射電子分解能		3.5 nm保証（加速電圧 30 kV、WD=8 mm、80 k倍、低真空モード：10 Pa)
倍率		10～600,000倍（表示サイズが90 mm×118 mmを基準として倍率表示）
電子光学系	電子銃	Zr0/Wショットキーエミッション形電子銃
	プローブ電流	1 pA～200 nA
	加速電圧	0.5～30 kV（0.1kVステップ）
	レンズ系	3段電磁レンズ縮小系
	対物レンズ絞り	可動絞り（加熱タイプ、真空外より4孔切り替え及び微調整可能）
	非点補正コイル	8極電磁方式（X、Y）
	走査コイル	2段電磁偏向方式
	ビームブランキング	電磁タイプ（画像フリーズ時に動作）
	走査速度	TVスキャン：縮小表示　25/30(注1）フレーム/秒 Fastスキャン：全体表示　6.25/7.5(注1）フレーム/秒 Slowスキャン：全体表示　1/4/20/40/80 秒/フレーム　　　　　　　　　縮小表示　0.5/2/10/20/40 秒/フレーム写真撮影用： 2,560×1,920画素　40/80/160/320 秒/フレーム）
検出器		二次電子検出器高感度半導体反射電子検出器
試料ステージ	ステージ	5軸モーター駆動 X：0～110 mm Y：0～110 mm Z：4～40 mm R：-5～+70° T：360°
OS		Windows^（R）XP Professional（注2）
観察用モニタ		19型 LCD
画像表示モード	全体表示	1,280×1,024画素
	縮小表示	640×480画素
	調整用縮小表示	320×240画素
	2画面同時表示	640×480画素×2
	走査モード	二次元像表示モードラインスキャンモードスポット分析モード平均濃度分析モードスプリットスクリーン／デュアルマグモード
画像データ保存		640×480画素 1,280×1,024画素 2,560×1,920画素 5,120×3,840画素
外部機器接続		USBインターフェース（2ポート）
排気系	自動排気システム	全自動排気ニューマチックバルブ方式
	到達真度	電子銃室：<1×10^-7 Pa 試料室：<7×10^-4 Pa
	真空ポンプ	イオンポンプ　40L/s×2台磁気浮上形ターボ分子ポンプ　260 L/s×1台油回転ポンプ　135 L/min(162 L/min)（注1） 2台
	真空計	ペニング真空計、ピラニ真空計×4

（注1） 50Hz/60Hz
（注2） Windowsは、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp. の登録商標です。

特別付属装置
検出器／各解析装置	低真空二次電子検出器（ESED-II）
	透過電子検出器
	各社製エネルギー分散形X線検出器（EDX）
	各社製波長分散形X線検出器（WDX）
	各社製後方散乱電子回折像検出器（EBSP)
	各社製陰極発光用検出器（CL）
	EBIC像観察ユニット

大きさ
項目	幅×奥行き×高さ	質量
本体	840×966×1,660 mm	670 kg
ディスプレイユニット	1,000×1,005×1,200 mm	205 kg
電源ユニット	754×394×775 mm	120 kg
油回転ポンプ	526×235×306 mm	28 kg
エアコンプレッサー	400×230×550 mm	18 kg
ウエイト	200×180×160 mm	40 kg

据え付け条件
項目	内容
室温	15～25℃
湿度	60%以下
電源	単相AC100V±10%、4kVA、50/60Hz（M5用圧着端子）
接地	D種接地端子（100以下）

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