日立超高分解能分析走査電子顕微鏡 SU-70

特長

超高分解能1.0nm/15ｋV、1.6nm/1kV（注1）

• 定評ある日立のセミインレンズにより超高分解能が容易に得られます。

Super ExBによるSE・BSE信号制御

• チャージアップ抑制や組成コントラストのためのSE・BSE信号制御が可能です。

極低加速電圧・極表面観察

• リターディング（注1）機能により低加速電圧が100Vまで広がり高分解能極表面観察が可能です。

100nAのプローブ電流

• ショットキー電子銃により100nAまでのプローブ電流が容易に得られ多様な分析に対応できます。

FFモードによるEBSP分析

• フィールドフリーモード（FFモード）により磁場に影響を受けないEBSP分析が可能です。

分析対応試料室

• 多種多様な検出器やアタッチメントのためのオプションポートが容易されています。

装着可能な主な付属装置：EDX、WDX、EBSP、STEM、BSE、CL、クライオステージ、チャンバースコープ

（注1） リターディング機能（オプション）