日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 SU8000
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SU8000は、新しくTop検出器を搭載し、Upper検出器と合わせて試料から発生している情報（二次電子、高角度散乱反射電子、低角度散乱反射電子）を観察目的に合わせて最適なコントラストで可視化するための信号検出系を開発しました。
複合化の進むデバイスや最先端材料において、試料最表面の構造情報を多角的に評価するためのソリューションをご提案します。
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特長
- 最表面の組成、回折コントラストを捉えるTop検出器を標準搭載
- 極表面観察時の信号検出能力を強化
- 絶縁物試料の帯電抑制機能
- ワイドなSEM像表示画面による心地よい操作感
- モータードライブステージを標準装備
新Top検出器
極表面観察の信号検出能力を強化
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リターディング機能を標準搭載しました。従来のUpper検出器による二次電子＋反射電子情報のコントラストだけでなく、Top検出器により、極表面情報をもった二次電子コントラストを取得できます。 |
ワイドなSEM像表示画面による心地よい操作感
SU8000の新GUIでは、1,920ｘ1,200画素の24.1型ワイドモニターを採用。従来の1,280x1,024画素の19型モニターに比べ約1.8倍の表示画素です。SEM画像を大きな画面（1,280ｘ960画素）で表示しながら、調整パネルやキャプチャー画像を重ねずに表示できるため快適な操作感をご提供します。 |
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SU8000の新GUIでは、倍率表示を写真倍率表示基準と実表示倍率基準で切り替えられるようになりました。
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- 写真表示倍率：127mmｘ95mm（4ｘ5ポラロイド）を表示サイズとして倍率を規定
- 実表示倍率：173mmｘ129mm（640ｘ480画素表示時）／345mmｘ259mm（1,280ｘ960画素表示）を表示サイズとして倍率を規定
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