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日立集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100
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| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 | 10〜40kV、2〜40kV（オプション） | |
| 最大ビーム電流 | 30nA 以上（40ｋV）、60nA 以上（オプション） | |
| 最大ビーム電流密度 | 25A/cm2 以上（加速電圧40ｋV） | |
| 像分解能 | 6nm以下 （加速電圧40ｋV） | |
| 倍率（ディスプレイ上） | 700〜90,000倍（設定は300,000倍まで可）（加速電圧40ｋV） | |
| イオン光学系 | イオン源 | Ga液体金属イオン源 |
| 対物レンズ絞り | 電動可動式CPU制御 | |
| レンズ・偏向器 | 静電型二段レンズ、レンズ間二段偏向方式 | |
| 到達圧力 | イオン源室 | 6×10-6Pa 以下 |
| 中間室 | 8×10-5Pa 以下 | |
| 試料室 | 6×10-4Pa 以下 | |
| 項目 | 幅×奥行き×高さ | 質量 |
|---|---|---|
| 本体 | 82×88×160cm | 350kg |
| 制御卓 | 125×88×126cm | 200kg |
| 電源部 | 58×78×189cm | 350kg |
| RP（×2） | 54×22×41cm | 32kg（×2） |
| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 室温 | 15℃〜25℃ | |
| 湿度 | 60% RH以下 | |
| 電源 | 単相AC100V（±10%）、4kVA（50/60Hz） | |
| アース端子 | 100 以下（独立） |
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| 冷却水 | 流量 | 1〜1.5L/min |
| 圧力 | 50〜150 kPa | |
| 温度 | 10〜20℃ | |
| ガス源圧力 | Air源（バルブ駆動用） | 0.4〜0.6 MPa |
| N2ガス源（リーク用） | 30〜50 kPa | |
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