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CADナビゲーションシステム NASFA （Navigation System of Failure Analysis）CADナビゲーションシステム（CAD-Navi）を使えば、SEMもしくはFIBで観察しているLSIの配線が、設計CADデータのどの配線に対応するのかを確認する事ができます。設計CADデータ上の座標位置を指定する事により、装置のステージがその座標に連動し、対応する箇所のSEM像（FIBの場合SIM像）を表示します。また設計CADデータとSEM像を重ね合わせて表示（オーバレイ表示）が出来ますので下層配線の状況の確認が容易に行なえ、解析作業の大幅な効率アップが望めます。
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 SIM像 |
 SIM像＋オーバレイ表示 |
 設計CADデータ |
 SEM像＋オーバレイ表示 |
 設計CADデータ |
「CADナビゲーションシステム NASFA」の概要を動画でご覧いただけます。
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