集束イオン・電子ビーム加工観察装置（FIB-SEM）

日立集束イオン/電子ビーム加工観察装置　nanoDUE'T^® NB5000

定評ある超高速加工FIBと高分解能FE-SEMを一体化し、高速試料作製と高精度加工終点検出を両立しました。新開発のSection-View機能により、電子線照射に弱い材料にも対応します。日立独自のマイクロサンプリング、TEM/STEMとのホルダリンケージ（注1）に加えて、ホルダ顕微鏡（注1）や吸収電流像表示機能（注1）を新たに導入し、解析効率の向上を図りました。

<FIB>

• 加速電圧：1〜40 kV
• 最大ビーム電流：50 nA at 40 kV
• SIM像分解能：5 nm

<SEM>

• 加速電圧：0.5〜30 kV
• 最大ビーム電流：1.0 nm at 15 kV

（注1） オプション