日立計測エンジニアリング(株) 渡邉俊哉、中川美音、山田満彦
鏡体内に乱れ咲く、大輪の花火たち。その大きさは3〜数十と千差万別。この花火の仕掛け人は酸化膜の還元により膜間に発生した水蒸気ガスです。ガスによって弾かれた膜の中心には、基板のSiが見え隠れしています。
1998年(第54回) 日本電子顕微鏡学会 写真コンクール出展作品
試料 : RuO2/Si基板 測定装置 : 高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700 試料ご提供 : 株式会社日立製作所 中央研究所 松井裕一様
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