サービス＆サポート    国内拠点    サイトマップ  音声読み上げ・文字拡大音声読み上げ・文字拡大  グローバルナビゲーョンここまで
ページタイトル

ナノアート 2001年度作品

ここから本文
ナノアート 2001度作品 1 2 3

セクションタイトルMicro-hat

作品画像：Micro-hat

コピーライト（株）日立サイエンスシステムズ 黒田靖、佐藤高広、川崎清美
コピーライト（株）日立製作所 計測器グループ 田中弘之

64M DRAMを割断し、メタル配線を加速電圧200 kVのSEMで観察したもの。
立体的に割断されたメタル配線が周囲のSiO2から浮かび上がり、TiNのリボンをつけたW帽子のように見えます。

2001年（第57回）　日本電子顕微鏡学会 写真コンクール出展作品

撮影条件

試料 ： 64M DRAM
測定装置 ： 超薄膜評価装置 HD-2000
撮影倍率 ： 100,000倍
加速電圧 ： 200 kV

  • 作成者の所属情報は作成当時の情報です。
  • この作品は日本顕微鏡学会主催、「写真コンクール」に出展された作品です。
  • nanoartに掲載された写真、文章の無断転載を禁じます。
  • 著作権・リンクに関してはこちらから。
  • 「nanoart」は（株）日立ハイテクノロジーズの日本国内における登録商標です。
ページトップへ
本文ここまで
検索 by google
> 詳細な検索

おすすめ製品

気軽に使える小型サイズで省エネ設計｡高倍率･高焦点深度の観察を実現！
卓上顕微鏡 TM-1000　Miniscope®

卓上顕微鏡 TM-1000　Miniscope

会員制サービス

弊社走査電子顕微鏡をご愛用いただいているお客様への会員制サービスです。SEMに関する様々な情報を掲載しています。
セメボリューション

関連リンク
デバイス製造・評価・解析装置
ナノアート
電顕ワールド