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ナノアート 2003年度作品
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闇の中に一際目立った輝きを放つ美しい花。実はSiO2中に成長したSiの結晶です。試料は、FIBマイクロサンプリング法で作製しました。試料厚さは約1 2003年（第59回） 日本顕微鏡学会 写真コンクール金賞受賞作品 |
試料 ： Poly-Si/SiO2
測定装置 ： 超薄膜評価装置 HD-2000
撮影倍率 ： 10,000倍
加速電圧 ： 200 kV
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（株）日立サイエンスシステムズ 黒田靖、今野充、矢口紀恵
ですが、加速電圧200
kVのCold FE-STEMでの明視野STEM像観察機能を用いると、立体的な結晶構造を鮮明に再現することが出来ます。
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