受託解析サービス
ご依頼分析形態
- 試料お預かり分析
- お客様お立会い分析（1日7h/半日4h）
分析設備
TEM
- 極微小部分析：HF-2000＋EDX＋EELS、HF-2000＋EDX＋TV、HD-2000＋EDX＋EELS、HD-2000＋EDX
- 超高分解能観察：H-9000UHR、H-9500
加熱観察など特殊観察も承っております。個別にご相談ください。
FIB（マイクロサンプリング装置付） / イオンシニング装置
- ボックス加工：FB-2000
- 薄膜加工：FB-2000A / FB-2100、GATAN600 / GATAN PIPS
SEM
- 超高分解能観察：S-5200+EDX（0.5nmの高分解能を）
- 高分解能観察：S-4800+EDX（大型試料室で高分解能観察）
- EBSP分析：SU-70＋EBSP＋EDX（高分解能観察と結晶方位解析）
- 大型試料観察：S-3600N＋EDX（最大254mm径試料の非破壊観察）
その他のSEM観察も承っております。個別にご相談ください。
SIMS
- Q-SIMS：絶縁物等の深さ方向元素分析：PHI6650（ULVAC PHI社）
お問い合わせ先
日立ハイテクノロジーズ各営業担当もしくは下記窓口までお問い合わせください。
（株）日立ハイテクマニファクチャ＆サービス 受託解析センタ
〒312-0033
茨城県ひたちなか市市毛1040番地
TEL：029-354-5745／FAX：029-354-5765
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