日立イオンスパッタ E-1010

特長

• リング電極とフローティング試料ステージの採用で、試料損傷の少ないコーティングが可能です。
• コーティング時間の残時間を見やすく便利なデジタル数字で表示します。
• スローアップ高圧印加方式採用で、放電初期のイオン衝撃による試料損傷を軽減します。
• カーボンコーティングユニット（オプション）を用意しています。

仕様

日立イオンスパッタ E-1010 製品仕様

項目		内容
放電	方式	ダイオード放電
	電極形状	リング（63mm）
	電圧	DC2.5kV、0.5kV
	電流	DC0〜30mA
コーティングレート（例）（注）	Au	10（nm/min）
試料	最大直径	50mm
	試料高さ	15mm
ロータリーポンプ		50（L/min）
所要電源		単相AC100V（±10%）1kVA
大きさ	幅×奥行き×高さ	350×440×307mm
	重さ	約29kg

設置例

E-1010＋カーボンコーティングユニット（C.C.U）