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日立イオンスパッタ E-1045
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| 項目 | 内容 | |
|---|---|---|
| 放電 | 方式 | ダイオード放電マグネトロン形（電・磁場直交形） |
| 電極形状 | 対向平行円板（マグネット埋め込み） | |
| 電圧 | 最高電圧DC 0.4kV | |
| 電流 | 最大電流DC 40mA | |
| コーティングレート 圧力：7Pa 放電電流：40mA ターゲット・試料間距離：20mm |
Ptターゲット（注1） | 15nm/min 以上（参考値） |
| Pt-Pdターゲット（注2） | 20nm/min（参考値） | |
| Auターゲット（注2） | 35nm/min（参考値） | |
| Au-Pdターゲット（注2） | 25nm/min（参考値） | |
| 圧力設定範囲 | 7〜20Pa | |
| 時間設定範囲 | 5〜300sec | |
| 試料 | 最大直径 | 60mm径 |
| 最大高さ | 20mm | |
| ロータリーポンプ | 135/162L/min（50/60Hz） | |
| ターゲット（注3） | Pt、Pt-Pd（8：2）、Au、Au-Pd（6：4） | |
| 大きさ | 幅 | 450mm |
| 奥行き | 442mm | |
| 高さ | 400mm | |
| 質量 | 本体：25kg、ロータリーポンプ：28kg | |
（注１） 標準のターゲットはPt（白金）となります。
（注２） オプション。
（注３） （）内は成分比です。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 本体 | 1 |
| ロータリーポンプ | 1 |
| 標準付属品 | 1式 |
| 取扱説明書 | 1 |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 室温 | 15〜30℃ |
| 湿度 | 45〜80%（結露しないこと） |
| 電源 | 単相AC100V（±10%）、50/60Hz、1.25kVA、3Pプラグコード（3m） |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 膜厚・温調ユニット | 本体組み込み 膜厚設定範囲：1〜30nm 温度設定範囲：室温〜（室温-25℃） |
| カーボンコーティングユニット | 別置き（本体運動制御） |
| オートトランスユニット | AC115、200、208、220、230、240V受電対応 |
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| Arガス圧力 | 0.03〜0.05Mpa |
| Arガス導入配管（注1） | 1/4インチSUS管（1/4スウェージロック対応）、レギュレータ |
| 酸素濃度計（注2） | 酸素濃度19%以上が確認できるもの |
| 推奨テーブル | 550mm（W）×550mm（D）×700mm（H）以上、耐荷重30kg以上 |
（注１） Arガス供給設備（Arガスボンベ）と装置間をつなぐ配管です。
供給設備（Arガスボンベ）用のレギュレータもご準備ください。
（注２） Arガスボンベは窒息性がありますので、設置場所には喚気設備をご準備ください。
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日立イオンスパッタ
E-1045
