走査電子顕微鏡（SEM）

日立走査電子顕微鏡 S-3700N

300mm径の大型試料に対応したS-3700Nが非破壊観察の新たな道を開きます。

• 分解能：3.0nm（高真空30kV）、10nm（高真空3kV）、4.0nm（低真空）
• 倍率：5〜300,000倍

日立走査電子顕微鏡 S-3400N

低加速電圧（3kV）の保証分解能を10nmに向上させた新形SEMです。また新開発した自動軸調整機能を採用し、より使い易いSEMをコンセプトに操作系を向上させました。排気系にはTMPを標準装備し迅速な立ち上げ、クリーンかつ省電力を実現しています。

• 分解能：3.0nm（高真空30kV）、10nm（高真空3kV）、4.0nm（低真空）
• 倍率：5〜300,000倍
• 試料サイズ：最大200mm、最大試料 厚さ80mm厚（WD=10mm）

日立SEM+EDXインテーグレーションシステム　S-3400NX

日立走査電子顕微鏡S-3400NにEDXをインテグレーションし、簡単操作で高分解能・多機能観察と元素分析を実現しています。

• 分解能：3.0nm（高真空30kV）、10nm（高真空3kV）、4.0nm（低真空）
• 倍率：5〜300,000倍
• 試料サイズ：最大200mm、最大試料 厚さ80mm厚（WD=10mm）

日立走査電子顕微鏡 SU-1500

装置本体の幅を55センチとし、小型化を図りながらも、3.0nmの像分解能性能を持ち合わせた「小さくて高性能」なN-SEMです。

• 分解能：3.0nm（高真空）、4.0nm（低真空）
• 倍率：5〜300,000倍
• 試料サイズ：最大153mm径

日立走査電子顕微鏡 TD-1000

床置きながら装置本体の幅を55cmとし、設置場所の自由度を広げ、最高加速電圧を20kV、4.5nmの像分解能性能を持つコンパクトなN-SEMです。

• 分解能：4.5nm（高真空）、5.5nm（低真空）
• 倍率：5〜300,000倍
• 試料サイズ：最大153mm径