日立走査電子顕微鏡 S-3400N

特長

• オートビームセッティング、オートアキシャルアライメントの搭載により、電子光学系の自動軸調整を実現。
• 低加速電圧（3kV）観察時の分解能を15nm→10nmに向上（当社比）。
• 異なる試料情報を表示する、2画像リアルタイム同時表示機能、信号ミキシング機能を搭載。
• 200mm径の試料を搭載可能。
• ターボ分子ポンプの標準搭載により、環境に配慮した省電力／省スペース化（当社比）を実現。

仕様

日立走査電子顕微鏡 S-3400N 製品仕様

項目		内容
二次電子像分解能		3.0 nm保証 （高真空）（30kV）
		10nm保証（高真空）（3kV）
反射電子像分解能		4.0 nm保証 （低真空モード） （30kV）
倍率		5〜300,000倍
加速電圧		0.3〜30 kV
低真空度設定		6〜270 Pa （グラフィックメニューで設定）
イメージシフト		±50（WD=10mm）
最大試料サイズ		200mm径
試料ステ-ジ（注1）		TypeI	TypeII
	X	0〜80mm	0〜100mm
	Y	0〜40mm	0〜50mm
	Z	5〜35mm	5〜65mm
	R	360°	360°
	T	-20〜90°	-20〜90°
	最大観察可能範囲	106mm径（R併用）	130mm径（R併用）
	最大試料厚さ	35mm（WD=10mm）	80mm（WD=10mm）
	モーターステージ	なし	5軸標準
電子光学系	電子銃	プリセンタード　カートリッジタイプ　タングステンヘアピンフィラメント
	対物レンズ絞り	4孔可動絞り
	ガンバイアス	クワッドバイアス
	検出系	二次電子検出器
		高感度半導体反射電子検出器
EDX分析WD		10mm、T.O.A=35°
画像表示	OS	Windows（R）XP（注2）
	操作系	マウス、キーボード、専用ロータリーノブ
	観察用モニター	18型LCD（型式は変更することがあります）
	自動軸調整機能	オートビームセッティング、オートアキシャルアライメント
	自動画像調整機能	オートフォーカス、オートスティグマ＆フォーカス
		オートブライトネス＆コントラスト
	画像データ保存	640×480画素、1,280×960画素
		2,560×1,920画素、5,120×3,840画素
	画像ファイリング	各種検索／画像処理機能付画像データベース内蔵
	画像形式	BMP、TIFF、JPEG
オートデータ表示		加速電圧、倍率、ミクロンマーカ、ミクロン値
		画像No、WD値、日時、検出器、真空度
画像表示モード		全面表示：1,280×960画素
		縮小表示：640×480画素
		2画像同時表示：640×480画素×2（信号ミキシング機能）
排気系	方法	全自動排気
	ターボ分子ポンプ	210L/s　1台
	ロータリーポンプ	135L/min（162L/min）1台、（　）内は60Hz
安全装置		停電、漏電、真空度保護装置付
操作補助機能		ラスターローテーション ダイナミックフォーカス/ティルトコンペンセーション フリーレイアウト印刷機能 3Dアニメーションメンテナンスガイド 簡易メジャー

（注1） 試料ステージは、試料サイズ等により可動範囲は制限されます。
（注2） Windows^（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp. の登録商標です。

据え付け条件

項目	内容
室温	15〜30 ℃
湿度	70%RH以下
電源	単相AC　100 V（±10%）、2.0 kVA
配電盤接続	端末圧着端子M5、ケーブル長10m
接地	電気設備技術基準D種　（100以下）

設置例