日立走査電子顕微鏡 SU-1500
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装置本体の幅を55センチとし、小型化を図りながらも、3.0 nmの像分解能性能を持ち合わせた「小さくて高性能」なN-SEMです。
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特長
- 装置本体幅を従来比20%（注1）削減したことにより、設置場所の自由度を拡げました。
- 使用頻度の少ない方でも気軽に使える操作ガイドを開発。SEMを身近にしました。
- 絶縁物の無処理観察/EDX分析（注2）に有効な低真空機能を標準装備。高真空・低真空の切り替えはワンクリックで行えます。
- 最大153 mm径試料を搭載可能とし、さらに60 mm厚さ（WD=15 mm）試料の観察/EDX分析を可能とした試料室/試料ステージを開発。従来機に比べ（注1）、大きな試料を搭載できます。
- EDX検出器を左右対向配置で2機装着可能な試料室とし、一方向では影が出てしまう凹凸のある試料のEDX元素マッピングにおいて、二方向からX線検出できるため、影を軽減することが可能です。
（注1） 日立SEM S-3000N比
（注2） Energy Dispersive X-ray Microanalysis（オプション）
仕様
日立走査電子顕微鏡 SU-1500 製品仕様
| 項目 |
内容 |
| 二次電子像分解能 |
3.0 nm （高真空モード、加速電圧：30 kV） |
| 反射電子像分解能 |
4.0 nm （低真空モード、真空度：6 Pa） |
| 倍率 |
5〜300,000倍 |
| 加速電圧 |
0.3〜30 kV |
| 試料ステージ |
X |
0〜80 mm |
| Y |
0〜40 mm |
| Z |
5〜50 mm |
| T |
-20〜90° |
| R |
360° |
| 最大搭載可能試料サイズ |
153 mm径 |
| 最大観察可能範囲 |
126 mm径（XYR併用） |
| 最大試料厚さ |
60 mm（WD=15 mm） |
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