日立走査電子顕微鏡 TD-1000
 |
床置きながら装置本体の幅を55cmとし、設置場所の自由度を広げ、最高加速電圧を20kV、4.5nmの像分解能性能（＊）を持つコンパクトなN-SEMです。
（＊）二次電子像分解能、高真空モード、加速電圧：20kV
|
特長
- 装置本体幅を55cmとコンパクト化し、従来と比べ設置場所の自由度を広げました。
- 二次電子像分解能4.5nm（高真空、加速電圧：20kV）、反射電子像分解能5.5nm（低真空：6Pa、加速電圧：20kV）を保証します。
- 絶縁物の無処理観察／EDX（注1）元素分析に有効な低真空機能を標準装備。高真空・低真空の切り替えはワンクリックで行えます。
- 153mm径、60mm高さ（WD=15mm）の大型試料を搭載可能な試料室／ステージを開発。本体サイズは小さくても大きな試料を搭載できます。
- 「S-3400N形」と同様にモニタ全面に高精細ライブ像を表示できる全画面表示機能や、最大5,120×3,840画素の画像データ保存など高級機能を標準搭載しました。
- 使用頻度の少ない方でも気軽に使える｢操作ガイド｣を標準搭載。SEMをより身近にしました。
（注1） Energy Dispersive X-ray Microanalysis（エネルギー分散型X線分析装置）−（オプション：(株)堀場製作所製）
仕様
日立走査電子顕微鏡 TD-1000 製品仕様
| 項目 |
内容 |
| 二次電子像分解能 |
4.5 nm （高真空モード、加速電圧：20 kV） |
| 反射電子像分解能 |
5.5 nm （低真空モード、真空度：6 Pa、加速電圧：20kV） |
| 倍率 |
5〜300,000倍 |
| 加速電圧 |
0.3〜20 kV |
| 試料ステージ |
X |
0〜80 mm |
| Y |
0〜40 mm |
| Z |
5〜50 mm |
| T |
-20〜90° |
| R |
360° |
| 最大搭載可能試料サイズ |
153 mm径 |
| 最大観察可能範囲 |
126 mm径（XYR併用） |
| 最大試料厚さ |
60 mm（WD=15 mm） |
ページトップへ
