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透過電子顕微鏡（TEM/STEM）

• 日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300
• 日立透過電子顕微鏡 H-9500
• 日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700
• 日立超薄膜評価装置 HD-2300A
• 日立電子顕微鏡 H-7650

集束イオンビーム（FIB）

• 日立集束イオンビーム加工観察装置 FB-2100
• FIBマイクロサンプリング
• CADNavigationシステム　NASFA （Navigation System of Failure Analysis）

集束イオン・電子ビーム加工観察装置（FIB-SEM）

• 日立集束イオン/電子ビーム加工観察装置　nanoDUE'T^® NB5000

走査電子顕微鏡（FE-SEM）

• 日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-5500
• 日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4800
• 日立高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 S-4700
• 日立電界放出形走査電子顕微鏡 S-4300
• 日立超高分解能分析走査電子顕微鏡 SU-70
  
• 日立低真空分析走査電子顕微鏡 SU6600
  

走査電子顕微鏡（SEM）

• 日立走査電子顕微鏡 S-3700N
• 日立走査電子顕微鏡 S-3400N
• 日立SEM+EDXインテグレーションシステム S-3400NX
• 日立走査電子顕微鏡 SU-1500
• 日立走査電子顕微鏡 TD-1000

ナノ・プローバ

• 日立微小デバイス特性評価装置 N-6000

Miniscope^®（卓上顕微鏡）

• Miniscope専用 エネルギー分散型X線分析装置 SwiftED-TM

EDX/WDX/EBSP/CL/EELS

EDX

• （OXFORD社製）LN2フリーEDX検出器 INCA DryCool

WDX

EBSP

CL

EELS

電子顕微鏡周辺装置

冷却水循環装置

• 日立SEM用冷水循環装置 W-5020Td
• 日立SEM/FIB用冷水循環装置 W-5030

その他の電子顕微鏡周辺装置

TEM/SEM試料前処理装置

イオンミリング装置

• 日立イオンミリング装置 E-3500
• 日立フラットミリング装置 IM-3000

ウルトラミクロトーム関連

• （LEICA社製）ウルトラミクロトーム EM UC6
• （LEICA社製）クライオセクショニングシステム EM FC6
• （LEICA社製）クライオセクショニングシステム EM FCS
• （LEICA社製）急速凍結 クライオプレパレーションシステム EM CPC
• （LEICA社製）凍結置換システム EM AFS2

乾燥装置

• 日立凍結真空乾燥装置 ES-2030

その他のTEM/SEM試料前処理装置

• 日立イオンスパッタ E-1045
• 日立イオンスパッタ E-1010
• （BAL-TEC社製）加圧凍結装置 HPM010
• （BAL-TEC社製）フリーズ・レプリカ作製装置 BAF 060

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