日立透過電子顕微鏡 H-9500

特長

• 高分解能像が容易に観察可能なデジタルTEMです。
• PC制御とデジタルカメラのインテグレーションにより、簡単にデジタル画像が得られ、画像データ管理、画像処理ができます。
• 従来から定評のある多段加速管、抵抗ケーブルの使用により安定した高圧を実現し、高圧昇圧3分、試料交換1分でスループットの高い像観察が行えます。
• 5軸ハイパーステージを標準装備しています。オートドライブ、試料移動トレース機能が可能です。

仕様

日立透過電子顕微鏡 H-9500 製品仕様

項目		内容
分解能		0.10nm （格子像）／0.18nm （粒子像）
加速電圧		300kV
倍率	ZOOM	1,000 〜 1,500,000倍
	SA	4,000 〜 500,000倍
	LOW MAG	200〜500倍
電子銃	フィラメント	LaB6直流加熱方式
	フィラメント交換	自動ガンリフト機構
	高圧ケーブル	抵抗ケーブル
照射系	レンズ構成	4段レンズ方式
	可動絞り機構	4段切替クリックストップ方式
結像系	レンズ構成	5段レンズ方式
	対物レンズ可動絞り	4段切替クリックストップ方式
	制限視野可動絞り	4段切替クリックストップ方式
電子回折	カメラ長	250 〜 3,000mm
試料室	試料ステージ	5軸ハイパーステージ
	試料サイズ	3mm
	試料位置表示	オートドライブ機能・試料移動トレース機能
	試料傾斜角	; ±15°以上、 ; ±15°以上
	試料汚染防止	レンズ周辺包囲方式
	ベーキング機能	マイルドベーキング機能内蔵
観察室	蛍光版	主蛍光板 ; 110mm
	双眼ルーペ	倍率 ; 7.5倍
カメラ室	視野切替	1、2視野（フル/ハーフ）随時切替
	フィルム装填数	25枚/マガジン × 2セット
制御系/GUI	モニター表示 機能	OS: Windows（R）2000（注1）、19型モニター データベース、測長機能、画像処理
デジタルCCDカメラ	カメラカップリング	レンズカップリング
	有効画素数	1,024 × 1,024ピクセル
	A/D分解能	12ビット
真空排気系	電子銃部	イオンポンプ 60L/s
	鏡体部	ターボ分子ポンプ 340L/s
	観察室、カメラ室	油拡散ポンプ 280L/s 油回転ポンプ 160L/min 3式

（注1） Windows^（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp.の登録商標です。

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据え付け条件

項目	内容
室温	15〜25℃
湿度	40〜60%RH
電源	単相AC200V 100A
接地	D種接地 100以下
冷却水	29,300kJ/h以上の冷却水循環装置（注2） をご用意ください。

（注2） オプション。

（注3）オプション。

設置例