日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700

特長

高分解能観察

• 高分解能HAADF-STEM像0.14nm保証。

高速・高感度EDX分析：プローブ電流増大（当社従来機比 約10倍）

• 短時間での元素分布像取得。
• 微弱シグナル元素の検出に威力を発揮。

簡単操作

• 軸調整専用GUI搭載、画像調整機能の自動化。

トータルソリューション

• 日立FIBとのシステム構築により、前処理からデータ取得・解析までをご提供。

多面的評価・解析機能と豊富なオプション

• SE&BF、SE&DF、BF&DF、BF/EDX像（＊）の同時表示・取得。
• ELV-2000（＊）リアルタイム元素分布像観察装置（DF-STEM像同時取得）。
• ライブディフラクション（＊）（DF-STEM像とDiffractionパターンの同時観察）。
• Low Dose機能（＊）（試料の電子線損傷、コンタミネーション軽減）。
• 3次元解析ビラーホルダー（360°回転）（＊）。
• 日立FIB共用ホルダー（＊）など。
• 微弱シグナル元素の検出に威力を発揮。
• 高精度倍率校正機能（＊）。

（＊）　オプション

仕様

日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700 製品仕様

項目		内容
像分解能		0.144nm 保証（倍率 7,000,000倍）
倍率		100〜10,000,000倍
加速電圧		200kV
映像信号		位相コントラスト像（TE像）
		Zコントラスト像（ZC像）
		二次電子像（SE像）
		電子回折像（注1）
		特性X線像（エネルギー分散型X線検出器）（注1）
		EELSレシオ像（ELV-2000形エレメンツビュー）（注1）
電子光学系	電子源	ショットキー電子源
		冷陰極電界放出形（注1）
	照射レンズ系	2段電子レンズ縮小方式
	収差補正器	6極子/トランスファーレンズ方式
	走査コイル	2段電磁偏向方式
	ZC検出角設定	投射電子レンズ方式
	電磁視野移動	±5
試料微動	移動範囲	X,Y＝±1mm
	試料傾斜	±30°（一軸傾斜ホルダー）
真空排気系		イオンポンプ（3台）、ターボ分子ポンプ（1台）
	到達真空度	電子銃：10-8Pa、試料室：10-5Pa
画像表示系	PC/OS	PC/AT互換機、Windows（R）XP（注2）
	モニタ	19型液晶パネル
	画像メモリ	640×480、1,280×960、2,560×1,920
	スキャンスピード	TV、スロー（0.5〜320 s/フレーム）
	オートデータ表示	撮影番号・加圧電圧・ミクロンバー
		倍率・日付・時刻

（注1）オプションです。
（注2）Windows^（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft Corp.の登録商標です。