日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300
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安定した超高分解能と新たな解析手法を併せ持った、次世代FE-TEMが登場！
定評ある、高輝度冷陰極電界放出電子銃と300ｋVの高加速電圧の組合せにより、超高分解能観察と高感度分析を両立しました。また、ダブルバイプリズム電子線ホログラフィー（＊）、位置分解型EELS（＊）、ナノ電子線回折（＊）により、従来にない高精度解析を実現します。
（＊） オプション
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特長
高輝度冷陰極電界放出形電子銃
高い輝度とエネルギー分解能が同時に得られる冷陰極電界放出形電子銃がナノオーダー解析の新境地を開きます。
300ｋVの高加速電圧
厚い試料でも高分解能観察が可能です。金属、セラミックスなど電子線が透過しにくい試料の観察にも威力を発揮します。
新たな解析手法
新しく採用したダブルバイプリズム電子線ホログラフィー（注1）、位置分解型EELS（注1）、ナノ電子線回折（注1）が高度化する解析ニーズにお応えします。
FIB（注1）とのホルダリンケージ
日立FIB（注1）と試料ホルダを共通化することで、試料作製からTEM解析までの効率を大幅に改善します。また、3D解析ホルダ（注1）とSTEM（注1）の組合せによる多方向構造解析にも対応します。
優れた操作性
Windows(R)（注2）PCによるTEM/STEM（注1）制御、モータ駆動絞り、5軸モータ駆動ステージの採用により、操作性を向上しました。
仕様
日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300 製品仕様 （※300ｋV時）
| 項目 |
内容 |
| 電子源 |
W（310）冷陰極電界放出形 |
| 加速電圧 |
300ｋV、200ｋV（注1）、100ｋV（注1） |
| 像分解能 |
格子像 |
0.10nm |
| 粒子像 |
0.19nm |
| インフォメーションリミット |
0.13nm |
| 倍率 |
Low Magモード |
200〜500倍 |
| High Magモード |
2,000〜1,500,000倍 |
| 像回転 |
±5°以内（High Magモード、1,000,000倍以下にて） |
| 最大試料傾斜角 |
±15° |
| カメラ長 |
300〜3,000mm |
| X線分析（注1） |
立体角 |
0.15sr. |
（注1） オプション
（注2） Windows（R）は、米国およびその他の国における米国Microsoft
Corp.の登録商標です。
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