透過電子顕微鏡（TEM/STEM）

日立電界放出形透過電子顕微鏡 HF-3300

安定した超高分解能と新たな解析手法を併せ持った、次世代FE-TEMが登場！
定評ある、高輝度冷陰極電界放出電子銃と300ｋVの高加速電圧の組合せにより、超高分解能観察と高感度分析を両立しました。

日立透過電子顕微鏡 H-9500

300kV電子顕微鏡H-9000の高分解能像観察をPC制御とデジタルカメラの標準装備により操作性を向上させました。半導体から各種材料まで高スループットで高分解能像が観察できます。

• 分解能：0.1nm（格子像）／0.18nm（粒子像）
• 倍率：200〜1,500,000倍
• 加速電圧：300kV

日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700

HDシリーズの最高峰。
CEOS社との共同開発により収差補正器を搭載し、高分解能化を図ると共に大きな収束角で微小なプローブを得ることで、分解能と同時に分析性能を向上させました。

• 分解能：0.144nm（倍率7,000,000倍）
• 倍率：100〜10,000,000倍
• 加速電圧：200kV
• EDX立体角：0.3sr.以上、取出角：20°以上

日立超薄膜評価装置 HD-2300A

自動軸調整機能を強化、各STEM像・高加速SEM像の同時表示・取込みや、高分解能観察モードにおける低倍率からの無調整観察・分析を可能にするなど、よりユーザーフレンドリーな機能を追加しました。

• 分解能：0.204nm（倍率4,000,000倍）
• 倍率：100〜10,000,000倍
• 加速電圧：200kV
• EDX立体角：0.3sr.以上、取出角：20°以上

日立電子顕微鏡 H-7650

高感度高精細デジタルカメラを標準搭載し、高コントラストかつ少ない電子線照射量で観察できるように設計されています。デジタルカメラは本体PCから制御され、PCのディスプレイ上に見える画像をそのままデジタル画像として記録することができます。さらにオートフォーカス・デジタルオートフォト・デジタルロードースなどの自動化機能や画像のデータベース機能の標準装備などにより、快適な操作環境を提供しています。

• 分解能：0.204nm（格子像）／0.36nm（粒子像）
• 倍率：50〜600,000倍
• 加速電圧：40〜120kV