LCD基板重ね合せ→GAP形成システム　AE/AG6000シリーズ

第5世代大型ガラス基板（1200mm x 1350mm）に対応した、高速・高精細重ね合せGAP形成システム。 ライン処理能力は40秒/セル（構成；重ね合せ1台+GAP形成8台）の高速処理を実現。 非接触アライメントの採用による高精度化、ワンプレス完結レシピの実現とプロセス自由度の向上を実現。

特長

大板対応高速・高精度重ね合せGAP形成システム プレス結果フィードバックによるアライメント位置オフセット制御 一括/上基板分割重ね合せに対応 非接触アライメントの採用による高精度化 液体による均一加圧制御と温度可変制御 ワンプレス完結レシピの実現とプロセス自由度の向上

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