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アレイ製造工程

液晶パネルは、アレイとカラーフィルタの2枚のガラス板で構成されています。
アレイ製造工程では、ガラス基板上にトランジスタや配線を構成します。
各種薄膜の成膜、洗浄、フォトレジスト塗布、パターン露光、現像、エッチング、レジスト剥離、検査の工程を数回繰り返します。

アレイ製造工程図

アレイ製造工程対応製品

	(1)	ガラス基板検査装置		GI7500シリーズ
	(1)	ガラス基板検査装置		GI4830
	(2)(3)(4)(5)	ウエットプロセスシステム		LC/LK/LY/LNシリーズ(G6&7&8)
	(2)(3)(4)(5)	ウエットプロセスシステム		LC/LK/LY/LNシリーズ(G5)
	(2)	洗浄装置		LC4000シリーズ
	(3)(4)(5)	有機薬液処理装置/酸薬液処理装置		LY4000/LN4000シリーズ

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